复合氧化物氢分离膜制备
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设备简介:复合氧化物氢分离膜制备CVD设备,可以实现在多孔氧化铝陶瓷管和陶瓷片上、化学沉积上,氧化物(SiO2、Al2O3、TiO2、ZrO2)和复合氧化物(Al2O3-SiO2、SiO2-TiO2、SiO2- ZrO2)氢分离膜。
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