多功能PECVD

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1400℃PECVD系统 BTF-1400C-D-CVD

1400℃PECVD系统 BTF-1400C-D-CVD

设备型号：BTF-1400C-D-CVD 设备简介：这是一款定制多功能PECVD设备。该设备主要由开启式加热炉、气路系统、反应管、射频组件、蒸发系统、真空系统、智能控制系统等部件组成。

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