1200℃ 智能型PECVD系统 PECVD-500A

设备型号：PECVD-500A 设备简介：该设备是将所有的控制部分集为一体的一款智能型PECVD系统，设备配备PE射频电源，将CVD系统升级为PECVD。当参与反应的气氛进入炉管在射频电源的作用下产生离子体，可使反应更加充分。同时等离子体起增强的作用，从而很大程度上优化实验的工艺条件。与传统CVD系统比较，生长温度更低。使用滑轨炉实现快速升温和降温，设备特有的专利技术使得整管辉光均匀等效，均匀生长。

1200℃小型双温区回转PECVD BTF-1200C-S-R-II-PECVD

设备型号：BTF-1200C-S-R-II-PECVD

1200℃智能型滑轨炉 BTF-1200C-SL-A2

设备型号：BTF-1200C-SL-A2

1200℃小型三温区PECVD设备 BTF-1200C-III-S-PECVD

设备型号：BTF-1200C-III-S-PECVD 设备组成：这是一款定制组合式PECVD设备，该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。