1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空) BTF-1200C-II-CVD
关键词:
CVD
低真空CVD
高真空CVD
双温区
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主要参数
· 电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
· 额定功率:5KW
· 最高温度:1200℃
· 工作温度:≤1100℃
· 推荐升温速度:15℃/min
· 最大升降温速率:≤30℃/min
· 加热区长度:200+200mm,恒温区长度:100+100mm
· 加热元件:电阻丝
加热炉
· 保温材料:采用真空吸附成型的氧化铝纤维无机材料
· 炉门结构:开启式
· 外形尺寸:590 x 380 x 600mm(长*宽*高)
· 可选配单温区、三温区等加热区
炉管&法兰
· 炉管规格:高纯石英管 Φ25/50/60/80/100 x 1000mm(管径可选)
· 炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展
温控系统
· 模糊PID控制和自整定调节
· 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序
· 具有超温和断偶报警功能
· 控温精度:±1℃
标准配件
· 石英管1根;不锈钢密封法兰1套;硅胶密封圈2套;氧化铝管堵4只;高温手套1副;坩埚钩1支
气路系统参数(质量流量计多种路数可选)
· 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm(量程可选)
· 准确度:±1.5%
· 线性:±0.5~1.5%
· 重复精度:±0.2%
· 响应时间:≤10Sec
· 工作压差范围:0.1~0.5MPa
· 最大压力:3MPa
· 接口:Φ6,1/4''
· 显示:4位数字显示
· 工作环境温度:5~45高纯气体
· 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格
· 截止阀:Φ6
· 内外双抛不锈钢管:Φ6
· 连接头类型:双卡套不锈钢接头
低真空系统参数
· 电源:220V 50Hz,电机功率:0.4KW
· 抽速:10m³/h
· 极限真空度:5x10-1Pa
· 进/排气连接口:KF25
· 容油量:1.1L
· 电机转速:1440rpm
· 工作环境温度:5~40℃
· 噪音:≤56dB
电阻真空计参数
· 配用规管:电阻规
· 测量范围:105~10-1Pa
· 测量路数:1路
· 控制范围:5×103~5×10-1Pa
· 控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V 3A (或DC28V 3A)无感负载
· 电源:90-260V 50Hz or 220V±10% 50Hz
· 功耗:20W
高真空系统参数
· 工作电压:220V±10% 50/60Hz,功率:1KW
· 空气相对湿度:≤85%
· 系统整体极限真空度:10-5Pa
· 实验真空度:10-3Pa
· 外形尺寸:850 x 600 x 650mm
机械泵
· 抽气速率:10m³/h
· 容油量:1.1L
· 电机功率:400W
· 极限压强:6x10-2Pa
分子泵
· 抽气速率:100L/s
· 极限压强:6x10-6Pa
· 启动时间:<2min
· 额定转速:4300转/分
· 冷却方式:环境温度5~32℃时,风冷;5~40℃时,水冷
分子泵控制器
· 电压:220V±22V,启动电流:≤7A
· 输入频率:47~63Hz
· 最大输出功率:≤150W
· 最大加速电压:≤40V
· 加速时间:≤3min
· 频率(双速):高速705Hz±10Hz;低速430Hz±5Hz
复合真空计
· 测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)
· 工作模式:手动/自动
电阻单元参数:
· 规管型号:电阻规
· 测量范围:1.0x105Pa~1.0x10-1Pa
· 有效范围:2.5x103Pa~5.0x10-1Pa
· 控制范围:2.5x103Pa~5.0x10-1Pa
电离单元参数:
· 规管型号:电离规
· 可测范围:5.0Pa~1.0x10-5Pa
· 有效范围:1.0Pa~5.0x10-5Pa
· 控制范围:1.0Pa~5.0x10-5Pa
· 规管除气方式:焦耳去气
其他参数:
· 控制路数:4路
· 控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆
· 控温精度:±1%
· 采样时间:1s
· 电源:220V±10% 50Hz,功耗:50W
· 使用环境温度:0℃~45℃
· 湿度:≤85%
· 连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内
· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)
· 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责
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