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1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空) BTF-1200C-II-CVD
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产品名称

1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空) BTF-1200C-II-CVD

设备型号:BTF-1200C-II-CVD 设备简介:此套设备是由1200℃双温区开启式管式炉、三路质量流量计及低真空系统组成,根据工艺要求亦可选配高真空系统。设备可以抽真空通气体保护。气动弹簧支撑结构使开启更加方便、简捷,使用者可直接将样品放到恒温区加热,在快速降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头,减去了取放料时的繁琐操作, 炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3度左右。 应用领域:广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
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产品描述
产品参数

加热区参数

工作电源

AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

额定功率

5KW

最高温度

1200℃

工作温度

1100℃

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

100+100mm

最大升降温速率

≤30℃/min

推荐升温速度

15℃/min

炉管

高纯度石英管Φ25/50/60/80/100*1000mm(管径可选)

控温精度

±1℃

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

炉门结构

开启式

外形尺寸

590*380*600mm

加热元件

电阻丝

标准配件

石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支

可选配单温区、三温区等加热区

 

气路系统参数

连接头类型

双卡套不锈钢接头

质量流量计参考量程(N2)

100sccm,200sccm、500sccm(量程可选)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计

 

低真空系统参数

电源

220V 50Hz

电机功率

0.4KW

抽速

10m³/h

极限真空度

5X10-1Pa

进排气连接口

KF25

容油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56dB

电阻真空计参数

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

配用规管

电阻规

测量范围

10510-1Pa

测量路数

1路

控制范围

 5×1035×10-1Pa

控制方式

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

 

高真空系统参数

空气相对湿度

≤85%

工作电压

AC220V±10%  50/60HZ

功率

1KW

系统整体极限真空度

10-5Pa

实验真空度

10-3Pa

外形尺寸

850×600×650mm

机械泵

抽气速率

10m³/h

容油量

1.1L

电机功率

400W

极限压强

6×10-2Pa

分子泵

抽气速率

100L/S

极限压强

6×10-6Pa

启动时间

2min

额定转速

4300转/分

冷却方式

环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷

分子泵控制器

电压

220V±22V

启动电流

≤7A

输入频率

47Hz~63Hz

最大输出功率

≤150W

最大加速电压

≤40V

加速时间

≤3min

频率(双速)

高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

复合真空计

测量路数

2路(电阻规、电离规各1路)

工作模式

手动/自动

电阻单元参数

规管型号

电阻规

测量范围

1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围

2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围

2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离单元参数

规管型号

电离规

可测范围

5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围

1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围

1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气方式

焦耳去气

其他参数

控制路数

4路

控制方式

点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度

±1%

采样时间

1s

电源

220V±10% 50HZ

功耗

50W

使用环境温度

0℃~45℃

湿度

≤85%

连接管路

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

备注:根据工艺要求可选配低真空或高真空系统

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