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1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空) BTF-1200C-II-CVD

设备型号:BTF-1200C-II-CVD 设备简介:此套设备是由1200℃双温区开启式管式炉、三路质量流量计及低真空系统组成,根据工艺要求亦可选配高真空系统。设备可以抽真空通气体保护。气动弹簧支撑结构使开启更加方便、简捷,使用者可直接将样品放到恒温区加热,在快速降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头,减去了取放料时的繁琐操作, 炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3度左右。 工艺应用:广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

关键词:

CVD

低真空CVD

高真空CVD

双温区

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  • 主要参数

    · 电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    · 额定功率:5KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速度:15℃/min

    · 最大升降温速率:≤30℃/min

    · 加热区长度:200+200mm,恒温区长度:100+100mm

    · 加热元件:电阻丝

    加热炉

    · 保温材料:采用真空吸附成型的氧化铝纤维无机材料

    · 炉门结构:开启式

    · 外形尺寸:590 x 380 x 600mm(长*宽*高)

    · 可选配单温区、三温区等加热区

    炉管&法兰

    · 炉管规格:高纯石英管 Φ25/50/60/80/100 x 1000mm(管径可选)

    · 炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    标准配件

    · 石英管1根;不锈钢密封法兰1套;硅胶密封圈2套;氧化铝管堵4只;高温手套1副;坩埚钩1支

    气路系统参数(质量流量计多种路数可选)

    · 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm(量程可选)

    · 准确度:±1.5%

    · 线性:±0.5~1.5%

    · 重复精度:±0.2%

    · 响应时间:≤10Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    低真空系统参数

    · 电源:220V 50Hz,电机功率:0.4KW

    · 抽速:10m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa

    · 进/排气连接口:KF25

    · 容油量:1.1L

    · 电机转速:1440rpm

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 噪音:≤56dB

    电阻真空计参数

    · 配用规管:电阻规

    · 测量范围:105~10-1Pa

    · 测量路数:1路

    · 控制范围:5×103~5×10-1Pa

    · 控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V 3A (或DC28V 3A)无感负载

    · 电源:90-260V 50Hz or 220V±10% 50Hz

    · 功耗:20W

    高真空系统参数

    · 工作电压:220V±10% 50/60Hz,功率:1KW

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 系统整体极限真空度:10-5Pa

    · 实验真空度:10-3Pa

    · 外形尺寸:850 x 600 x 650mm

    机械泵

    · 抽气速率:10m³/h

    · 容油量:1.1L

    · 电机功率:400W

    · 极限压强:6x10-2Pa

    分子泵

    · 抽气速率:100L/s

    · 极限压强:6x10-6Pa

    · 启动时间:<2min

    · 额定转速:4300转/分

    · 冷却方式:环境温度5~32℃时,风冷;5~40℃时,水冷

    分子泵控制器

    · 电压:220V±22V,启动电流:≤7A

    · 输入频率:47~63Hz

    · 最大输出功率:≤150W

    · 最大加速电压:≤40V

    · 加速时间:≤3min

    · 频率(双速):高速705Hz±10Hz;低速430Hz±5Hz

    复合真空计

    · 测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

    · 工作模式:手动/自动

    电阻单元参数:

    · 规管型号:电阻规

    · 测量范围:1.0x105Pa~1.0x10-1Pa

    · 有效范围:2.5x103Pa~5.0x10-1Pa

    · 控制范围:2.5x103Pa~5.0x10-1Pa

    电离单元参数:

    · 规管型号:电离规

    · 可测范围:5.0Pa~1.0x10-5Pa

    · 有效范围:1.0Pa~5.0x10-5Pa

    · 控制范围:1.0Pa~5.0x10-5Pa

    · 规管除气方式:焦耳去气

    其他参数:

    · 控制路数:4路

    · 控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

    · 控温精度:±1%

    · 采样时间:1s

    · 电源:220V±10% 50Hz,功耗:50W

    · 使用环境温度:0℃~45℃

    · 湿度:≤85%

    · 连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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